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アイテム
多結晶ダイヤモンドスラリー循環によるサファイアの精密ラッピングに関する研究
https://iot.repo.nii.ac.jp/records/32
https://iot.repo.nii.ac.jp/records/32aa457c1d-fb88-4d24-a6ef-060063c2835a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
多結晶ダイヤモンドスラリー循環によるサファイアの精密ラッピングに関する研究 (1.2 MB)
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.png)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-06-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 多結晶ダイヤモンドスラリー循環によるサファイアの精密ラッピングに関する研究 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Study on Lapping Characteristics of Sapphire using Polycrystalline Diamond Slurry Circulation | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | sapphire | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | polycrystalline diamond | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | slurry circulation | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | lapping | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | diamond powder size | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | sapphire | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | polycrystalline diamond | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | slurry circulation | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | lapping | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | diamond powder size | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
三橋, 眞成
× 三橋, 眞成× 加藤, 剛× MITSUHASHI, Masashige× KATO, Tsuyoshi |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | This paper deals with lapping characteristics of sapphire using a polycrystalline diamond slurry circulation. A lapping machine was build, in which polycrystalline diamond slurry was circulated at many times. A sapphire was lapped using the lapping machine with slurry circulation. The polycrystalline diamond abrasive diameter and the sapphire stock removal rate were measured. The distributionｓ of diamond abrasive diameter were discussed. There was a certain long-size diameter value of the polycrystalline diamond abrasive for contributing to the sapphire lapping (in this experiment, long-size diameter value 2.5~4.0μm). The lapping characteristics of sapphire were kept up, as micro-edges of the polycrystalline diamond abrasive were given rebirth. The sapphire could be lapped using the polycrystalline diamond slurry circulation (in this experiment, 72 times slurry circulation). | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 本研究では, サファイアウェハの精密ラッピングに向けて, ダイヤモンドスラリーを多数回循環使用できる実験装置を試作し, 数時間にわたりダイヤモンドスラリーを循環使用した場合のサファイアウェハ加工特性および多結晶ダイヤモンド砥粒径の変化について実験検討し, 考察した. | |||||
| 書誌情報 |
ものつくり大学紀要 en : The Bulletin of Institute of Technologists 号 5, p. 13-18, 発行日 2014 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 学校法人ものつくり大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2185-3746 | |||||
