@article{oai:iot.repo.nii.ac.jp:00000173,
 author = {藤澤, 政泰 and 斎藤, 芳紀 and 鷲北, 好晃 and FUJISAWA, Masayasu and SAITO, Yoshinori and WASHIKITA, Yoshiaki},
 issue = {2},
 journal = {ものつくり大学紀要, The Bulletin of Institute of Technologists},
 month = {},
 note = {A new high rigid air bearing has been developed for a solution of bottleneck in the development of a small and ultra high-precision machine. One of the developed air bearing has hybrid restrictors which restricts air flow at entrance and exit of air gap, and has achieved 2 times rigidity of conventional air bearing. The other developed air bearing has elastic restrictors which restricts air flow at exit of air gap, and has achieved 3 times rigidity of conventional air bearing., 空気軸受は，超精密加工機や測定機，ステッパー等，ナノメータオーダーの精度の装置に必須の機械要素である¹⁾~⁶⁾．しかし，空気軸受の剛性は軸受面積に比例するため，小型化すると剛性が低下し，小型装置に使うことができない．空気軸受の剛性は軸受ギャップに反比例するので，これを小さくできれば小型化が可能であるが，現状では軸受ギャップを小さくすることが困難である．小型で高剛性の空気軸受の製作が困難なことが，精密小型機械の開発の隘路になっている．
空気軸受のギャップを小さくできない原因は軸受への空気供給口，または出口における絞りにある．供給口において絞る方式はオリフィス絞り，または自成絞りであり，出口で絞るのが面絞りである．軸受ギャップを小さくするには，オリフィス径を小さくするか，面絞りであれば空気出口側のステップを小さくしなければならない．ギャップを１μm以下にするには，ミクロンオーダーの径のオリフィスか，あるいはサブミクロンのステップを形成する必要があるが，現状の加工技術では困難である．そこで，新しい方式の絞りを考案し，空気軸受の高剛性化を実現した．},
 pages = {15--20},
 title = {高剛性空気軸受の開発},
 year = {2011},
 yomi = {フジサワ, マサヤス and サイトウ, ヨリノリ and ワシキタ, ヨシアキ}
}